Hallo Cordess,
jede Röhre nach dem Prinzip der Kathodenstrahlröhre beschleunigt Elektronen bzw. Ionen durch einfaches Anlegen einer Hochspannung. Alles was Du brauchst ist somit eine Hochspannungsquelle. Darüber hinaus musst Du unterscheiden, ob Du einen Abtrag allein mittels kin. Aufprallenergie haben willst (dann bitte inerte Gase nehmen) oder zusätzlich durch chemische Ätzvorgänge (dann reaktive Gase nehmen). Protonen verhalten sich nun mal sehr säuremäßig, wenn da z.B. irgenwie noch Sauerstoff im Spiel ist und bringen das Kristallgittergefüge damit zusätzlich durcheinander. Gase alleine schon deshalb, damit sie sich nicht als zusätzliche Schicht niederschlagen. Das macht eine Alubedampfungsmaschine nämlich.
Ich bin da keine Spezialist für diese angewandte Materialphysik. Aber von den Möglichkeiten her dürfte es zig Varianten geben, angefangen vom Sand-/Wasserstrahlen bis hin zum Ionenstrahl. Kontinuierlich, gepulst, unter normalen Luftdruck (quasi mit Plasma abflammen) oder in der Vakuumkammer.
Wenn ich daran denke, dass schon vor mehr als hundert Jahren Funkenentladungslampen als Punktlichtquellen eingesetzt wurden, deren Elektroden ständig abbrannten, dann haben die damals schon das Prinzip des Materialabtrag unter Plasmaeinsatz gekannt. Foucault lässt grüßen; der hat nämlich damals einen Nachführregler der Elektroden erfunden um die Helligkeit solcher Lampen zu steuern.
Inzwischen - vermute ich - ist die Materialwissenschaft sicher deutlich weiter und setzt je nach Aufgabenfeld die passenden Gerätschaften und Techniken ein, ob Medizin mit Tumorbekämpfung, ob Stahlindustrie zwecks zerstörungsfreier Probenanalyse oder die Halbleiterindustrie, um ihre Wafer erst mal glatt zu polieren. Bei Strukturen von 30nm im Fertigungsprozess müssen die jeden Wafer am Fließband besser polieren, wie wir unsere Fangspiegel. Dito bei Festplatten, wo die Kopfe im Abstand von wenigen Nanometer über die Scheiben 'fliegen'.
Gruß
