Ich begründe meine Einschätzung zur Messung mit Profilometer sehr einfach schon dadurch, dass die Auflösung zu gering ist. Ein zulässiger Unterschied in der Höhe ist in gleicher Zehnerpotenz wie das Messgerät, wobei der Messfehler noch unberücksichtigt ist. Die kleinste 2 stellige Zahl ist 10. Also 10nm. Das wäre also die Auflösung. PV Werte von 30-50 sind aber schon relevant für den FS. Das Profilometer sollte demnach etwa 10 mal genauer sein. (Damit möchte ich sagen, dass ein Profilometer eigentlich eine 5-10 fach höhere Genauigkeit benötigen würde, als das eingangs erwähnte, somit die Genauigkeit dieses Profilometers nicht ausreicht). Denke ich.
CS Peter
PS: taktile Profilometer z. B. mit Diamantspitze könnten auch deutliche Kratzer hinterlassen. Es gibt jedoch auch optische Profilometer mit der notwendigen Genauigkeit. Die machen das über Interferometrie… - also am besten gleich ein Interferogramm machen…. 
