Hallo Gerhard,
was ich interessant fände: diese super Fläche (die auch noch nicht verspiegelt ist) in Deinem Aufbau zu prüfen, um die systematischen Effekte abzuschätzen. Da gibts ja ein Zygo Protokoll dafür.
Dann könnte man die Parameter für die Messung optimieren.
Beim Abzug der Referenzfläche muss man genau prüfen wie man das macht. Speziell wegen der Änderungen in der konischen Konstanten -1 => 0
Echt spannend. Krass der Glättungseffekt mit dem Minitool, speziell die Mitte.
CS Peter