Hallo Stathis,
> 1. Schaut mal die Rechnungen von Mauro Da Lio.
Ah, das ist interessant. Was meint er denn mit "piano wire"? Wörtlich übersetzt heisst das "Stahldraht", aber aus dem Zusammenhang scheint hervorzugehen dass feste Auflager an bestimmten Stellen gemeint sein müssen.
> Die ersten beiden Beispiele zeigen an einem 16" Spiegel von 40,5 mm Dicke, dass eine Verlagerung des Auflagerpunktes vom Schwerpunkt aus von 1 mm nach vorne, bereits die RMS Deformation mehr als verdoppelt (von 0,85 auf 2,2 nm RMS). Der Effekt dürfte bei dem viel dünnerem MRR- Spiegel noch höher sein. Wie sicher bist du, dass du bei deiner Messung genau im Schwerpunkt gelagert hattest?
Er hat einfach mit der vollen Dicke auf zwei Holzkanten aufgelegen. Die Rückseite war kräftefrei. Das ist leider keine exakt definierte Auflage. Nächstes mal mache ich es besser, man lernt ja dazu...
Der Winkel war nicht +-45 Grad sondern nur +-20 Grad.
> 2. Da die Deformation sehr lokal ausgeprägt ist, ist der Umrechnungsfaktor von RMS auf PV wahrscheinlich höher als bei Astigmatismus erster Ordnung, also wohl höher als der von dir angenommene Faktor 4.9.
Das stimmt, hat aber keinen Einfluss auf den Vergleich weil ich ja nur den PV-Wert des Astigmatismus 1. Ordnung betrachtet habe, und nicht den PV-Wert von allen Fehlern zusammen.
> 4. Kann man eine Deformation von 2x0,8= 1,6 nm RMS Wellefront mit einem Interferometer überhaupt genau genug ausmessen?
Das ist so an der Grenze des Machbaren. Bei Zygo wird die "Repeatability of RMS" mit lambda/10000 angegeben:
http://www.zygo.com/products/gpi/gpi_xp-d_can_spec.pdf
Dem steht aber die Genauigkeit der Transmission-Sphäre gegenüber, und die hat "nur" lambda/40 PV.
1.6nm Asti RMS in der Wellenfront entspricht 1.6nm * 2 * sqrt(6) = 7.84nm PV, das entspricht lambda/81. Da kommt man nicht drum herum, den Fehler der Transmissions-Sphäre vorher per 2-Sphären-Test zu ermitteln und dann zu subtrahieren.
Gruss
Michael
