Hallo Kai,
<blockquote id="quote"><font size="1" face="Verdana, Arial, Helvetica" id="quote">Zitat:<hr height="1" noshade id="quote">Müssten um die 0,2g gewesen sein...<hr height="1" noshade id="quote"></blockquote id="quote"></font id="quote">
bei meiner derzeitigen Standardprozedur belade ich 3 Schiffchen mit jeweils ca. 20 mg Alu. Das ergibt bei 250 mm Abstand Schiffchen <=> Substrat ca. 50 bis 60 nm Schichtdicke. Danach hätte ich bei Verwendung von W- Elektroden jede Menge Reserve bezüglich Alu-Zuladung
Bei Alu hab ich also die freie Wahl zwischen W- Elektroden und Schiffchen. Ich werde bei nächster Gelegenheit ausprobieren wie viel flüssiges Alu meine 1,4 mm W- Elektroden tragen können.
Silber lässt sich wahrscheinlich nur in Schiffchen verdampfen, weil dessen Dichte rund 4x höher ist als die von Alu. Silber benetzt Tantal nicht. Wenn das bei W auch so ist dann geht es hier eben nur mit Schiffchen.
Gruß Kurt