Beiträge von xblades im Thema „Vacuum- Bedampfungsanlage im Kleinformat“

    (==>)Kai,
    Ja, HMDS hört sich ungemütlich an im Sicherheitsdatenblatt.
    Beschaffbar denke ich schon (Sigma Aldrich), aber vermutlich braucht es einen Befähigten dazwischen.


    Für unsere Zwecke ist es vermutlich nicht wirklich Vorteile. Die Versuche von Kurt sehen dagegen jetzt schon vielversprechend aus.


    Gruß,
    Stefan

    Hallo zusammen,


    (==>)Kurt super Arbeit von dir, Lob kann man nie zu spät loswerden.


    (==>)Kai : Die Schutzschicht hört sich interessant an. Seitlicher Elektrodenkontakt hört sich leicht machbar an. Ich denke, daß Glas als Stützschicht ausreichend ist -> ALU + Schutzschicht. Aber 700V bei 20kHz hat man nicht immer rumliegen. Mit 700V Netzteil könnte man mit entsprechenden SIC-Mosfets zwischen Versorgungsspannung und GND schalten - mal sehen.


    Stefan

    Hallo Kurt, Hallo Kai,


    So langsam geht es auch bei mir in Richtung Bedampfungsanlage...
    Frage zur Pumpendimensionierung :
    Ich habe hier eine Varian HS-2, die macht bei 450W dann 285 l/s
    Empfohlen ist als Vorpumpe eine 4CFM mit 0.53 mbar bei Vollast.
    Zur Verfügung habe ich eine VE 125 mit 2.5CFM entsprechend 70l/min mit 0.05 mbar Enddruck.
    Kann das noch zusammenpassen und dauert eventuell etwas länger ?


    Gruß,
    Stefan

    Vielleicht könnte man die Oxidation beschleunigen - z.b. durch anodisieren nach dem GS-Verfahren http://www.sr71.dyndns.info/_eloxieren-von-aluminium.php
    Könnte schwierig sein die Schichtdicke zu steuern


    Feuchtigkeit/Luftfeuchtigkeit führt bei der Bildung der Oxidschicht zu Mischoxiden und ermöglicht später leichter Korrosion.


    Vielleicht sollte man die Vakuumkammer zunächst mit Stickkstoff belüften bzw. nach dem Abkühlen der Diffusionspumpe bei weiterlaufender Vorpumpe dann direkt mit Sauerstoff befüllen.
    Ob es was helfen würde - wer weiß...



    Gruß,
    Stefan

    (==>)Kurt
    kurze Ergänzung zu Diffusionspumpen sind unverwüstlich - stimmt soweit, aber nicht immer ...
    hier mal ein Bild einer Varian HS2

    Das Gewinde zum Befestigen der Abdeckhaube (oberer Kreis) hatte sich vom Heizblock gelöst - da kann es schon mal sehr warm werden. Ist jetzt hartgelötet - mal sehen ob das hält.
    Im unteren Kreis sieht man, dass die Leitung zum Schnellkühlen Lochfraß hat - ist aber verschmerzbar, da nicht unbedingt notwendig.


    Dazu mal eine Frage zur Kühlung - wie machst du das ?
    Frischwasser einfach durchlaufen lassen oder ein Kühlkreislauf ?


    Gruß,
    Stefan

    Hallo,
    das mit dem MgF2 fand ich doch interessant und habe dazu mal eine Dissertation gefunden.
    http://www.db-thueringen.de/se…Bischoff/Dissertation.pdf
    Auf Anhieb habe ich nichts zum Langzeitschutz gefunden, aber die Schicht soll robust und sehr reflexionsarm sein (wird oft auch als Linsenvergütung benutzt).


    zumindest könnte man es ähnlich bedampfen.
    Könnte vielleicht hier zu bekommen sein (unter andere Magnesiumverbindungen).
    http://www.calmags.com/index.p…/produkte/produktkatalog/


    Gruß,
    Stefan

    => Kai
    Hi Kai - du schriebst


    Als Materialien für Vakuum taugen nur: Edelstahl, Glas oder bestimmte Alu-Legierungen (zb 6060)
    Alles andere kann nur in Homöopathischen Mengen verwendet werden es weil mehr oder weniger stark ausgast.
    Normaler Stahl sollte gemieden werden, wenn es irgendwie geht. Die Qualität der Schicht hängt vom erreichten Vakuum ab!


    Soweit schon klar, in meiner letzen Firma wurden Wafer im Vakuum prozessiert - da war auch alles - vor allem fremde Metalle tabu.
    Wenn jetzt aber mit Aluminium bedampft wird, dann ist in der Kammer ja schon reichlich Aluminium vorhanden. Wie schätzt du die Möglichkeit ein, auf quasi beliebigen Kammerwand-Material (z.b. mal Stahl) zunächst eine diffusionsdichte Aluminiumschicht aufzudampfen und damit die böse Oberfläche zu versiegeln ?
    Vielleicht wäre ja auch eine SIO2-Schicht geeignet.
    Aluminiumplatte als Basis mit SIO2-Schicht ?
    Stahl kann ja auch per Vakuum entgast werden -> nimmt der Partikelstrom nicht stetig ab ?
    Meine Vermutung : wahrscheinlich lagert sich das teilweise überall in der Kammer auf den Oberflächen wieder an und versaut dann später die Beschichtung.
    Ich kann schlecht schätzen wie sauber es wirklich sein muss - ihr dotiert ja keine Halbleiter.
    Und wenn man schon Aluminiumfolie als Ausgangsmaterial akzeptiert ...


    Gruß,
    Stefan

    Hallo,
    noch ne Frage - wieviel lichte Höhe zum Spiegel ist denn sinnvoll ?
    Je höher desto gleichmäßiger ?
    Oder haftet es besser, wenn die Entfernung begrenzt ist - ich denke die Verdampfungswolke hat auch Temperaturgefälle. Oder fällt das im Hochvakuum nicht so ins Gewicht ?


    Gruß,
    Stefan

    Hallo Kurt,
    bin begeistert von deiner Arbeit.


    habe gerade noch sowas gefunden :
    http://www.ebay.de/itm/Edelsta…bb2075:g:IN0AAOSwTapV5DOK
    http://www.ebay.de/itm/Edelsta…c03b60:g:IN0AAOSwTapV5DOK


    Weiß nicht, ob das zu dünn ist - aber am Boden könnte man ein paar Gewindestangen anlöten und dann mit einer Platte verstärken (als Haube) - dann bräuchte man noch eine starke plane Bodenplatte.


    Die Edelstahltöpfe gibt es auch noch größer, werden dann aber schnell teuer.


    Gruß,
    Stefan

    Hallo Kai,
    ja ich bastele gerne und mit jugendlichem Eifer :)
    Vakuum habe ich auch schon im Einsatz samt passendem Messgerät - aber es gibt Vakuum und richtiges Vakuum. Mir war bis vor kurzem nicht bewusst, dass man für das Bedampfen wirklich Vakuum braucht und meine Pumpe das dann auch nicht schafft (hatte 10-5 Bar und 10-5 mBar verwechselt).
    Auf der anderen Seite bin ich aber auch skeptisch, ob große Einmachgläser das richtige für so eine Anlage sind. Ich denke dass diese Lösung auch der Bezahlbarkeit geschuldet ist. Vielleicht ist die Stahlglocke nicht die beste Idee für eine solche Anlage, aber vielleicht könnte man mal für kleines Geld das auch mal ausprobieren und das Ergebnis bewerten - muss man aber nicht. Ich hatte den Eindruck, dass diese Selbstbau-Vakuumkammern http://lerch.no-ip.com/atm/Allum_files/image004.jpg
    https://publiclab.org/notes/wa…deposition-making-mirrors
    sich nicht daran stören.


    Für meinen Teil will ich erst mal versilbern und testen, ob die Zapon-Schutzschicht etwas bringt.


    Gruß,
    Stefan

    Hallo Kurt,
    recherchiere gerade, um in naher Zukunft mal einen 14" Spiegel herzustellen und dachte ich könnte vielleicht noch was beisteuern :


    Hatte zuweilen auf mit einer Vakumkammer geliebäugelt
    Vorschlag für größere Kammer - Ausdehnungsgefäß für Heizung:
    https://www.flamcogroup.com/de/productsheet/258430
    wenn man das 50l Gefäß zerlegt, dann hätte man eine feine Glocke bis ca. 400mm - denke dass das Vakuum aushält.


    Werde meinen Spiegel, wenn er mal soweit ist, zunächst chemisch versilbern und bin dabei auf einen interessanten Link zu einer Arbeit von Adolf Miethe gestoßen :
    http://adsabs.harvard.edu/abs/1919AN....208...85M
    Man kann den Artikel unter "Send PDF" laden


    Dieser hatte mit Schutzschichten auf Silberspiegeln experimentiert und da scheint etwas brauchbares herausgekommen zu sein. Im Grunde benutzt er eine starke Verdünnung eine Zapon-Lacks, um daraus eine sehr dünne Schutzschicht zu erhalten. Diese Lacke werden benutzt, um Metalle vor Umwelteinflüssen zu schützen. darüberhinaus ist noch eine Methode beschrieben, um die Haftung des Silbers mittels Zink auf dem Glasrohling zu verbessern.
    Beides wollte ich dann mal ausprobieren.


    Gruß,
    Stefan