Beiträge von BergAstro im Thema „Vacuum- Bedampfungsanlage im Kleinformat“

    Als ehemaliger Vakuum- bzw. Beschichtungstechniker bin ich immer wieder begeistert, was da auf die Beine gestellt wird! Gratuliere!


    Eine kleine Anmerkung noch: auch wenn es verlockend ist, wenn ein halbwegs passabler Druck nach 15min erreicht wird, würde ich vor einer Beschichtung möglichst lange evakuieren! Speziell Aluminium gettert sehr stark und holt sich alles aus dem Restgas (speziell O2 und H2O), was die Reflexion herabsetzt oder allgemein die Qualität der Schicht verringert. Nachdem du wahrscheinlich nicht 10 Spiegel pro Tag beschichten wirst, würde ich mindestens 3-4 Stunden evakuieren und erst dann bedampfen. Noch besser wäre sogar über Nacht. Auch wenn sich vielleicht nicht viel tut am Vakuum-Messgerät (Penning?), so wird die Zusammensetzung des Restgases umso besser je länger man evakuiert. In meiner Dissertation habe ich den Einfluss von O2 und H2O im Bereich von 50ppm bis 1% im Restgas auf Aluminium- bzw. Aluminium-Zinn-Schichten untersucht. Man glaubt nicht, welche Effekte auftreten, wenn das Restgas nicht passt...

    Eine sog. Lambda-Halbe-Schicht wäre "unsichtbar". D.h. sie würde das optische Verhalten nicht ändern. Gilt aber natürlich nur für senkrechten Einfall, was am Spiegel aber weitgehend erfüllt ist. Bei der Schichtdicke ist immer die "optische" Schichtdicke gemeint - also n.d, wenn man von lambda-halbe oder lambda-viertel-Schichten spricht.

    Absolut faszinierend wie kreativ du die Schwierigkeiten einer reaktiven Bedampfung gelöst hast! Gratuliere!


    Normalerweise braucht man dazu mindestens einen Druckminderer und ein feines Gaseinlassventil. Oder man nimmt sogar eine Gasregeleinrichtung mit Massenspektrometer (>20k€)...[8D]

    <blockquote id="quote"><font size="1" face="Verdana, Arial, Helvetica" id="quote">Zitat:<hr height="1" noshade id="quote">Spaßeshalber hab ich auch noch die von TONI propagierte „cos^4“- Kurve eingetragen. Das passt ja schon fast wie A. o. E. Zusammen, ist aber vielleicht nur Zufall.<hr height="1" noshade id="quote"></blockquote id="quote"></font id="quote">Die cos^4 Kurve würde perfekt passen, wenn man die genauen geometrischen Abmessungen des Verdampfungsmaterials kennen würde und dann über all diese Punktquellen integrieren würde. Das Aluminiumstück im Schiffchen ist halt kein perfekter Punkt sondern zB. ein Drahtstück mit 1x3mm. Dann kommt noch die (minimale) Abschattung durch die Schiffchenwände dazu.


    Aber das cos^4 Gesetz stimmt schon!

    <blockquote id="quote"><font size="1" face="Verdana, Arial, Helvetica" id="quote">Zitat:<hr height="1" noshade id="quote">Ach so, da wird von einer ebenen Quelle ausgegangen die nicht in alle Richtungen gleichmäßig abstahlt, z.B. Elektronenstrahl-Verdampfer.<hr height="1" noshade id="quote"></blockquote id="quote"></font id="quote">Ja, für Elektronenverdampfer geht man von einem andern n aus. Für ein W-Schiffchen gilt das cos hoch vier Gesetz aber sehr gut.

    Cr- oder NiCr-Schichten mit sehr geringen Schichtdicken verbessern die Haftung auf Glas auf jeden Fall und sollten bei Ag und Al auch keine störenden chemischen Reaktionen hervorrufen. Au und Al sind da, was die Elektrochemie anlangt "gefährlicher", denn sie stehen in der Spannungsreihe schon sehr weit auseinander.

    OK, mit einem GAU kann ich auch dienen: eine Sputteranlage im Jahre 1986 mit Wasser geflutet! Da ist Wasser durch die Vorpumpe gepumpt worden und durch den Auspuff gekommen... ;)


    Das Ventil zur Diff-Pumpe hat zum Glück sehr schnell geschlossen! Wasser auf das heiße Öl der Diff-Pumpe wäre interessant gewesen.