Moin,
ein tolles Projekt!
Eine Frage habe ich dabei: Wie sieht es mit der Qualität der Schicht aus? Oder, besser andersherum: Wie gut muss die Qualität sein? Epitaktisches Wachstum wird man wohl kaum brauchen.
Ich habe beim Verdampfen (bin beruflich ab und an mal an einer B30) das Problem, dass die Schicht nicht so wirklich homogen wird. Mir ist das wumpe, auf 10mm ändert sich die Dicke kaum und ich dampfe nur Kontakte auf, aber bei astronomischen Anwendungen ist die Schicht ja sehr viel größer. Macht das was?
Und hast du dein Substrat geheizt? Habe davon nirgends was gelesen...
Die Pumpen finde ich interessant, Öldiffusion... Wäre jetzt nicht meine erste Idee gewesen, aber wenn es funktioniert und billiger ist als eine Turbo, dann ist das eine schöne Sache.
