Hallo Michael,
<blockquote id="quote"><font size="1" face="Verdana, Arial, Helvetica" id="quote">Zitat:<hr height="1" noshade id="quote"><i>Original erstellt von: mkoch</i>
<br />Bei der Wolfram-Schicht die ca. 5% Transmission hat habe ich jetzt einen schmalen Streifen abgeschnitten und den elektrischen Widerstand gemessen. Daraus ergibt sich 42nm Schichtdicke, also etwas weniger als die interferometrisch gemessenen 50nm. Ich traue diesem Online-Rechner nicht, nach dem diese Schicht 26nm haben soll.
Gruß
Michael
P.S. Und wenn man die Prüfspitzen großflächig anpresst dann wird der Widerstand noch etwas kleiner und es kommt 46.3nm raus. Das passt gut zu der interferometrischen Messung.
<hr height="1" noshade id="quote"></blockquote id="quote"></font id="quote">
Bei Messungen des Schichtwiderstands hilft Dir evtl die Methode von Hr. van der Pauw. Du brauchst nur ein irgendwie geformtes Sample mit der Schicht (gleicher Dicke) und 4 Kontake.
2 Strom - Spannungsmessungen erlauben dann eine Bestimmung des Schichtwiderstands. Da man den spez. Widerstand von Wolfram kennt kann man dann die Schichtdicke berechnen.
http://en.wikipedia.org/wiki/Van_der_Pauw_method
Clear Skies,
Gert
