Hallo,
ich habe ein ererbtes Lithographie- Objektiv abzugeben.
Kurz zum Objektiv: Es handelt sich um eine reine Linsenoptik, die eine Vorlage (Maske mit den Leiterbahnen) auf ein fünftel verkleinert auf den Wafer projiziert. Die Lichtwellenlänge beträgt noch 405nm, also Violett, und zeigt die Richtung, in die es ging: Kürzere Wellenlängen, um kleinere Strukturen abbilden zu können. Lichtquelle war damals noch eine Hg-Hochdrucklampe. Ein paar Jahre später kamen dann Excimer- Laser mit deutlich kürzeren Wellenlängen und wesentlich höheren Strahlintensitäten auf. Die numerische Apertur ist 0,5, was etwa Blende 1,4 entspricht.
Das Objektiv dürfte Mitte der 1980er Jahre entstanden sein, und war eines der ersten Wafer-Stepper Objektive.
Das Unternehmen Perkin-Elmer Censor war in Liechtenstein tätig.
So ein Objektiv wäre evtl. als Ausstellungsstück für ein Museum, oder eine Bildungseinrichtung von Interesse.
Das Objektiv wiegt 19kg, daher Versand ausgeschlossen. Ich würde einem Interessenten bis zu 100km entgegenkommen. Treffpunkt müsste vereinbart werden. Alternativ käme Abholung in Frage.
Mein Standort: Stadt Dornbirn in Vorarlberg, Österreich.
Preisvorstellung: Gratis, evtl. kleine Spende bei Übergabe.
Herzliche Grüße,
Guntram
