Hallo Daniel
Zu den Focaultbildern: wenn die Klinge von rechts kommt, ist der äusserste Rand abfallend, das geht aus der FXP-Auswertung mit 4 Zonen nicht hervor, ist ev. auch schwierig erfassbar. Mehr Zonen würden m.E. mehr Details zeigen.
Zur Korrektur: man kann versuchen nur die hoch stehenden Teile abzutragen, dies wird jedoch schwierig da du nach Focault nur einen Durchschnitt über eine Linie misst. Eine Zone gezielt abzutragen ohne das drum herum anzufassen ist m.E. auch mit Interferometer nicht ganz einfach.
Einfacher und sicherer, jedoch der längere Weg, ist die Mitte auszuhöhlen. Das siehst du, wenn du den Schieberegler in FXP nach links verschiebst, dadurch wird der Radius ROC verändert zB. auf -0.7 mm, das Bild zeigt dann einen zentralen Berg in der Höhe von 400nm, und der Rand kommt auf die Nullhöhe zu liegen. Anhand dessen kannst du sehen, dass du in der Mitte noch jede Menge abtragen kannst.
Ich würde dazu ein etwas kleineres Tool nehmen und nur zentrale Striche TOT machen. (beachte bitte das ich nicht der Spezialist bin dazu, alle: bitte widersprecht mir wenn dies falsch ist).
Der Sinn vom kleineren Tool und zentralen Strichen, der Rand wird nicht bei jedem Strich angefasst (nur oben u. unten, nicht links u. rechts) die Mitte jedoch bei jedem Strich abgetragen. Natürlich geht auch jegliche Kombination aus Mitte vertiefen und Zone bearbeiten, aber dies anhand der Messungen zu erfassen und richtig zu interpretieren erachte ich als schwierig.
Viel Erfolg!