Hallo alle miteinander,
ich bin auch gerade am Basteln an meiner Beschichtungsanlage. Was tut man, wenn der Druck nicht so schnell absinkt wie man das gerne hätte? Dann muss man messen, welche Arten von Molekülen noch in der Kammer drin sind. Dafür braucht man ein Massenspektrometer. Natürlich kein fabrikneues, denn das wäre unbezahlbar. Man sucht besser bei Ebay nach einem gebrauchten. Und wenn es defekt ist, dann muss man leider noch nach einem zweiten suchen...
In diesem Bild stehen links die beiden Massenspektrometer (unten defekt, oben funktionsfähig) und rechts sind die beiden Messköpfe an den Vakuum-Kessel angeflanscht: 
So sieht das Spektrum aus, wenn man ganz wenig Argon einleitet. Die Peaks bei 1, 16, 17 und 18 sind Wasser (-dampf), 20 und 40 ist Argon, 28 ist Stickstoff, 32 ist Sauerstoff, 44 ist Kohlendioxid.
So sieht es aus, wenn man Sauerstoff einleitet. Es war aber auch noch Argon im Schlauch.
Hier ist noch eine Messung mit viel höherer Empfindlichkeit. Pumpzeit mehr als eine Stunde, Druck 6.3E-5 mbar. 1 und 2 ist Wasser, 3 unbekannt, 12 Kohlendioxid, 14 Stickstoff, 16, 17, 18 und 19 ist Wasser, 20 Argon, 22 unbekannt oder Neon, 27 unbekannt oder Äthan, 28 und 29 Stickstoff, 30 unbekannt oder Äthan, 32 Sauerstoff, 40 Argon, 43 Sauerstoff, 44 und 45 Kohlendioxid, darüber bis 99 kommt nicht mehr viel. Die Tabelle die ich verwende ist nicht vollständig.
Jedenfalls kann man aus dem Meßergebnis den Schluss ziehen, dass mein Kessel dicht ist. Denn der Hauptbestandteil des Restgases ist Wasserdampf, der an der inneren Kesselwand festsitzt und sich nur sehr schwierig rauspumpen lässt.
Das verwendete Massenspektrometer ist ein "Quadrucac PGA 100" von Leybold. Ich habe dazu nur die Bedienungsanleitung. Die Suche nach der Abgleich-Anleitung und dem Service-Manual gestaltet sich leider sehr schwierig. Ich würde natürlich gerne das zweite Gerät reparieren. Irgendwas darin muss gealtert sein, denn vor ein paar Jahren ging es noch. Aber ohne Schaltplan ist eine Reparatur sehr schwierig.
Gruß
Michael
